二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251502 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS+是AMAT开发的用于高级加工应用的半导体反应堆。AMAT Centura DPS+是一种先进的多基质扩散和植入反应器，通过高速顺序基质转移，提供在单个工艺工具中快速沉积和蚀刻掺杂在多个基质上的薄膜的能力。这使得该设备非常适合用于高密度、超大规模集成（ULSI）组件的大批量生产。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+反应器还支持先进的材料沉积技术,如低压化学气相沉积（LPCVD）以及MOL（金属氧化物低温）工艺。APPLIED MATERIALS Centura DPS+反应堆是一个自动化、全自动的多晶圆系统,由多个模块组成,每个模块都设计用于处理特定的处理阶段。其中包括清除/气体流模块、晶圆传输模块、热室、气体输送模块、冷壁模块和热资源模块。CENTURA DPS+反应堆的净化/气体流动模块通过自动控制和保持气体流量以满足特定要求，确保了可靠和一致的气体流动。该模块还管理和控制适当清除反应堆腔室及其过程所需的必要电子设备和力学。AMAT CENTURA DPS+反应堆的晶圆转移模块能够将多个基板高效准确地转移到热室。这个模块对于AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+单元的准确性和效率极为重要，因为它加速了整个生产过程。Centura DPS+反应堆的热室由316L不锈钢构成，其设计可提供高达1200摄氏度的温度范围，以满足先进的加工需求。可控温度使腔室能够在不同的基板上精确应用加工型材，确保沉积或蚀刻材料时的精确度和精确度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+反应堆的气体输送模块允许机器所需的过程气体准确准确地输送。该模块还负责对反应堆所需的气流进行布线、控制和管理。AMAT Centura DPS+反应堆的冷壁模块使低温冷却（或低温冷却）能够准确、精确地应用于基板上，从而实现极其精确和可重复的温度控制。最后,应用材料CENTURA DPS+反应堆的热资源模块管理和控制热室的必要资源,如电力和加热元件,以便进行准确和可重复的处理。此外,此模块还允许对温度进行精确的自动调整以满足特定要求。总之，这些模块使应用材料Centura DPS+反应堆能够准确、精确地沉积和蚀刻材料，提供高密度、超大规模集成组件的大批量制造。APPLIED MATERIALS提供的先进技术确保了可靠和可重复的性能,从而实现了半导体行业的最高精度。