二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9253112 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
ID: 9253112
晶圆大小: 12"
Poly etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种等离子体增强沉积设备,设计用于各种行业。可用于涂层、半导体、金属、绝缘体等材料的薄膜、薄膜和薄膜的沉积。AMAT Centura DPS在广泛的沉积过程中提供高通量和一致的等离子体。它在高达3,600 °C的温度下提供稳定性,并且可以容纳各种形状的组件。应用材料Centura DPS非常重视均匀性,允许精确、可重复的沉积过程。该机采用标准HV和LPF控制,具有强大而设计良好的气体输送系统。这通过在所需的压力、成分和温度下供应所需气体来确保精确的沉积。Centura DPS在控制电源和等离子体设置时使用直接数字控制。这样就能够精确控制等离子体工艺参数,并实现可重复、可靠的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS的径向和轴向均匀性是其强壮的西装之一。它对沉积的精确控制发生在过程中使用的三个阶段(2个气体和1个源)的每个阶段。AMAT Centura DPS还配备了坚固的夹紧装置,为基板与基板的均匀性提供了稳定的平台。加工室便于维修.它配备了一个负载解锁门,为基板的装卸提供了一个简单的方法。该室还设有4点加工室冷却机,以确保温度均匀性,避免沉积过程中出现任何意外变化。APPLIED MATERIALS Centura DPS提供高质量的结果,同时最大限度地提高吞吐量。自动定心和自动平整可确保基板正确对齐,并防止漂移。其重复可靠的性能使其成为生产相关应用的理想选择。它采用卓越的设计和先进的技术,提供卓越的性能和高吞吐量。
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