二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9255765 待售
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ID: 9255765
晶圆大小: 12"
System, 12"
(4) Chambers (With pumps)
(2) Wafer transfer modules
Front end
Electronics cabinet
Etch clean AC rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor是一种先进的半导体加工设备，旨在使下一代半导体产品的生产具有成本效益和可靠性。它具有真空室、通用基板台、前端卡带负载锁、自动负载端口和可编程运动控制器，所有这些设计都是为了简化生产并最大限度地减少用户时间。AMAT Centura DPS消除了晶片和基板手动加载的需要，减少了作为半导体工艺传统组成部分的危险化学品的暴露和处理。APPLIED MATERIALS Centura DPS配置了一个独特的3轴晶圆传输机器人,能够在活动腔室内精确定位基板和组件,从而实现最大的正常运行时间。除原位加工室外，该系统还包括用于底物预处理/后处理的远程加工室。集成过程控制单元允许近乎实时的反馈，从而能够获得精确的处理参数并进行准确的维护。Centura DPS配备了一台高分辨率投影相对测量机,可确保多次运行过程的准确性和可重复性。这种复杂的成像工具还提供了特征特征的逐层表示，以验证精确的过程条件和结果。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor具有多种工艺模式,包括干式和湿式蚀刻。除蚀刻外，该资产还可用于沉积和剥离应用。AMAT Centura DPS采用了维护友好的功能,例如具有快速断开连接功能的智能阀门,使维护更加方便,停机时间更短。反应堆可以配置各种腔室大小，提供灵活性以满足每一个应用的具体需求。APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor体积小巧,使它能够在狭窄的空间中提供高质量的性能,为制造商提供了在空间非常宝贵的情况下操作系统的机会。这种可靠可靠的模型提供高产量和一致质量的制造,使公司能够最大限度地提高其竞争规格。
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