二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9258527 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（Direct Plasma Source）是一种用途广泛的单晶圆反应器，为临界膜沉积过程提供可靠和可重复的等离子体环境。单晶片设计消除了手动传输的需要,从而促进了快速高效的生产率。反应室的设计旨在改善工艺控制和提高膜的均匀性，允许用户在各种沉积过程中实现最高性能，包括单晶圆外延和CVD过程、介电层间沉积和金属化过程。AMAT Centura DPS提供了一系列功能和优势,首先是先进的高效射频发生器,它提供稳定的等离子体环境和最小的杂质。该设备利用先进的自动化控制软件实现灵活高效的操作，使用户能够创建和更新配方，甚至支持系统之间直接配方转移的选项。此外，APPLIED MATERIALS Centura DPS内置气体和液体输送系统，方便气体净化和液体冷却。该设备的设计还实现了高密度、近距离公差处理,并具有较窄的过程窗口和较长时间内的过程重复性。该机还包括一个集成的灯丝清洗站，以减少维护和增加正常运行时间。它具有高压淋浴界面，可有效处理厚膜，并利用嵌入式诊断工具进行自动故障检测和反馈。最后，该资产具有多种安全特性，如紧急关机模型和紧急排气阀，以确保安全可靠的操作。总之，Centura DPS是一个业界领先的单晶圆反应堆，为满足先进制造工艺的苛刻要求而建造。凭借其内置的射频发生器、自动化软件、高密度设计、集成的气液输送、嵌入式故障检测和安全功能，该设备被设计为以最小的停机时间提供可靠和可重复的处理。