二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9296970 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（双工艺解决方桉）是半导体工业中常用的双工艺反应器。它提供了一个自动化的单源批处理过程,它提供了出色的温度和压力控制,并提高了吞吐量和更高的流程可重复性。因此，DPS反应堆适用于广泛的先进半导体应用。AMAT Centura DPS具有两个工艺模块,允许用户恢复晶片到晶片的可重复性,即使在同一工艺室中执行多个步骤也是如此。每个工艺模块包括两个上下加热板，可以达到高达1500 °C的温度，以及两个低压射频源，最多可支撑200KW的功率。此外，DPS反应堆还配备了先进的PID（成比例积分导数）控制器和软件，提供精确的温度控制，从而实现统一、一致的工艺性能。APPLIED MATERIALS Centura DPS的设计具有灵活性,各种组件可用于不同的处理应用程序。它可以根据需要为蚀刻、沉积和剥离过程定制配置。反应堆还提供高分辨率的压力和温度测量，先进的控制器提供顶尖的回流控制。Centura DPS也是高度耐用和安全的，在保持必要温度和压力的同时提供密封环境，并提供卓越的热均匀性和快速循环时间。此外,它还具有出色的温度和压力监控功能、自动温度和压力警报以及用户友好的界面。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS是寻求最大限度提高生产效率和始终保持最高工艺质量的用户的绝佳选择。它易于使用、可靠且功能丰富,非常适合半导体和先进包装行业。