二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9314928 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种面向工艺的快速热反应设备，用于氧化铝沉积、非晶硅沉积和其他半导体工艺等多种应用。它具有水平导向的U型反应堆室，内部有晶圆支撑。反应堆室依靠可编程的辐射加热系统对温度提供精确的控制，允许晶圆表面上的热能精确且均匀的通量。电气单元集成了一个过程控制盒，使用户可以轻松监控和调整时间、温度、氧气压力等参数。该机的设计在低温无创热反应加工方面提供了优异的效果。其专有的漫射反射器技术允许晶圆表面上均匀的温度剖面，允许沉积在低至300 °C的温度下运行，使其对于GaAs和SiGe等敏感基板极为安全。这种低温处理非常适合用于集成电路的生长和维持层均匀性。此外，该工具还包括一个用于监测热沉积过程的集成光学资产，使用户能够快速检测任何沉积不规则性。AMAT Centura DPS反应堆能够在纳米范围内进行可重复性和稳定性的快速热过程循环时间短至15秒。其获得专利的均匀热分配技术为各种工艺提供了卓越的精度和可重复性,为精细的系统提供了卓越的效果。该模型还附带了一套程序验证和技术支持工具，以确保过程结果的质量。APPLICED MATERIALS Centura DPS反应器是半导体器件制造工艺的理想选择，在低温沉积方面提供优异的效果，同时保持最高的一致性和准确性。它的低温处理能力使制造商能够在执行复杂过程的同时仍然保护细腻的基板，而它的监控功能让用户能够快速、轻松地检测和调整任何不规则性。