二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9350294 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种最先进的反应堆设备,旨在提供可靠、高性能、长期的化学蚀刻解决方桉。这种三腔化学气相沉积（CVD）反应器被设计为生产出超薄膜、厚膜、均匀膜和受控膜厚度。AMAT Centura DPS系统提供了广泛的等离子体蚀刻能力，能够支持化学干蚀刻和等离子体增强蚀刻过程。该单位还配备了自动化过程控制机器，用于精确监测和可重复的过程。APPLIED MATERIALS Centura DPS配有高性能射频电源和等离子体激发电极，可提供对蚀刻过程的精确控制，确保可靠性和均匀性。反应堆还配备了自适应过程控制工具，允许通过计算机控制的过程参数进行过程优化。此资产具有直观的界面,允许用户快速设置流程参数并根据需要对其进行调整。流程控制模型还提供警报通知功能,用于监视任何流程偏差,以便在需要时可以采取纠正措施。Centura DPS是一种多功能设备，因为它可以用于多种应用，包括先进的介电蚀刻、苛刻的屏障层蚀刻以及高速率的铜蚀刻。它还设计用于高吞吐量和与多个晶片同时使用,从而提高效率和生产率。反应堆的设计针对低拥有成本进行了优化，能够即时调整工艺条件，便于清理维护。等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工艺，加上自动化的工艺控制，使得能够生产具有出色均匀性和蚀刻剖面可重复性的保形膜。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS是一个可靠且用途广泛的CVD反应堆系统,为用户提供广泛的等离子体蚀刻功能、高吞吐量和自动化过程控制。这个反应堆单元能够实现精确、可再现、均匀的蚀刻结果，可以应用于各种蚀刻应用。
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