二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9398745 待售

ID: 9398745
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Metal etcher, 8" Wafer type: SNNF Hard Disk Drive (HDD) Floppy CRT Screen LLA/LLB: Wide body load lock with rotation HP Robot Chamber A: ASP+ Chamber C: Metal DPS R0 Chamber D: eMxP+ Chamber E: Single slot cool down Chamber F: Orienter Main AC rack System controller rack Power supply / Generator racks Miscellaneous parts Does not include: Heat exchangers Backing / Roughing pump SSSCo PDS Solution eMxP+ Process kit eMxp+ ESC 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS(动态工艺设备)是一种反应堆,设计用于在节能灵活的平台内加工晶片,完善用于制造光电、微电子和溷合材料。该系统通过大型群集工具提供高吞吐量,能够同时处理多达28个晶圆。利用先进的控制电子设备,AMAT Centura DPS提供了可重复、准确和可靠的性能以及快速的周期时间。它结合了高方面、多反应室设计和独特定位的石英壁,确保了所有沉积区域的均匀性,提供了卓越的工艺精度。APPLIED MATERIALS Centura DPS提供了广泛的过程功能和参数,使客户能够快速、经济高效地获得所需的结果。该反应堆由一个低质量、低热量、高效的歧管组成,该歧管可输送过程气体,以及一个用于精确和可重复晶片定位的高效磁化器设计。该单元包含用于自动化操作的可编程逻辑控制器(PLC)技术、易于使用的高级图形用户界面(GUI)以及集成的配方和趋势存储,以实现最高的效率和质量。Centura DPS与各种基材尺寸和材料兼容,并通过使用均匀的温度控制提供出色的基材均匀性。该机器包括先进的自动化和控制能力,具有可定制的成核和拆卸程序,以及多层自动化晶圆处理工具。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS还提供快速启动资产和无晶圆污染的环境。总体而言,AMAT Centura DPS是一种高度通用的型号,非常适合制造高性能光电、微电子和溷合材料。该设备具有极好的可重复性、准确性和晶片对晶片均匀性,非常适合精确应用。此高级流程旨在优化吞吐量,同时最大限度地降低成本、能源消耗和时间。
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