二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114611 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor是一种多区薄膜沉积设备，用于制造先进的半导体集成电路。该反应堆设计为提供高通量晶圆加工、工艺灵活性和高精度。该反应堆利用四个电独立区提供卓越的系统性能，使晶圆工艺具有灵活性。四个区域中的每一个区域都包含一个来自ICP等离子体源的高温感应耦合等离子体（ICP）。ICP源允许反应堆在高达1000 °C的底物温度下运行，从而能够加工高温金属和合金。此外,四区体系结构允许在单个晶圆上实施多个过程配方。例如，一个晶片可以有四层不同的不同材料，全部在同一个反应堆中加工。AMAT Centura DxZ Reactor的特点是晶圆传输单元具有高速机械臂。这台机器提供卓越的吞吐量、精度和可用性，并允许反应堆每小时处理多达180个晶圆。反应堆还设有全套流程监控系统，包括软件控制、数据记录和图形显示。该软件允许用户在整个过程中控制、监控和优化反应堆的性能。该反应堆的建造具有卓越的可靠性和可重复性。该工具的设计符合严格的安全和环境标准，对污染物具有很高的耐受性。此外，反应堆利用质量控制资产来确保该过程是可靠可重复和可重复的。APPLIED MATERIALS Centura DxZ是市场上最先进的薄膜沉积反应器之一，能够实现最先进的半导体器件的快速开发和经济高效的生产。Centura DxZ Reactor具有卓越的吞吐量、灵活性、可靠性和准确性,是半导体行业制造商的首选解决方桉。