二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #138375 待售

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ID: 138375
CVD system (3) DxZ chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一种反应堆设备,设计用于半导体制造的大批量生产晶圆。该系统由一个工艺室、加热和冷却系统、气体输送系统和电力供应组成。该工艺室是一种不锈钢真空密封环境,通过陶瓷密封件与外部加热和冷却源相连。这个腔室配有晶片支架,一次最多可精确对准六个晶片。腔室内部通过直接气体加热进行加热,并通过冷壁或液氦热交换器进行冷却。气体输送由自动控制阀提供,以确保精确的过程控制和排序。真空装置使腔室保持适当的工作压力,并在处理过程中保持清洁的气氛。此外,该机器还配备了一个负载锁定工具,以提供晶片的有效质量转移进出和进入加工室。资产中使用了多种电源,包括直流、射频和微波源。AMAT Centura DxZ按照最高标准构建,为高产晶圆生产提供了安全可靠的解决方桉。它提供精确的温度控制、快速的热循环、多晶圆的充足空间、可编程的气体输送,并且可扩展到各种产品。还可以将模型配置为满足客户需求,并提供各种选项来满足客户的特定需求。结合AMAT高级硬件和软件解决方桉,APPLIED MATERIALS Centura DxZ可为半导体制造提供最佳工艺解决方桉。
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