二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #166624 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一种基于等离子体的蚀刻反应堆设备，旨在满足与半导体器件制造相关的工艺和生产需求。该系统旨在蚀刻多层介电堆迭层和硬质预算，包括由氮化物、硅和二氧化硅制成的。该单元是模块化和可配置的，使其能够适应一系列的工艺条件。该反应堆能够在纳米级高精度和可靠性地蚀刻材料。它融合了先进的等离子体源和过程控制技术，如二维射频功率"推进器"和降低的感应阻抗。这些技术能够在纳米级精确控制蚀刻参数。此外，一个三维视觉机器使晶圆轮廓计量，提供实时闭环反馈到反应堆的蚀刻工具。AMAT Centura DxZ设计为具有稳定的蚀刻速率和良好的可重复性,非常适合生产应用。其高效的设计确保了高蚀刻率、低拥有成本和过程稳定性。资产的集成气体处理模型使蚀刻过程中使用的气体得到最佳利用，确保产品产量高，吞吐量提高，拥有成本低。APPLIED MATERIALS Centura DxZ还集成了先进的过程控制算法,以实现模式的快速可靠蚀刻。Centura DxZ采用了多种安全功能来保护晶片和人员免受伤害。它包括在蚀刻过程中保护晶片免受伤害的夹紧机构，具有先进的人机界面功能以防止用户错误，以及包含有害物质、排放和噪声水平的集成外壳。此外，该设备的设计符合国际半导体设备和材料（SEMI）的环境、安全和可靠性标准。综上所述，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DxZ是一种先进的基于等离子体的蚀刻反应堆系统，旨在满足与半导体制造相关的工艺和生产需求。它采用了先进的纳米级精密控制技术，确保了高精度和可靠性。此外,该设备还具有安全功能,高效且经济高效,并符合环境、安全和可靠性方面的SEMI标准。