二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9174370 待售

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ID: 9174370
CVD TEOS System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ反应器是一种用于制造半导体材料的低温沉积设备。AMAT, Inc.的模型Centura系列分子束外延(MBE)工具被设计为提供高产率、自动处理大量半导体基板。AMAT Centura DxZ专为高效、自动处理而设计,能够支持多种材料。它使用多达四个物料来源储层,包括石英和硅,其直径可达250毫米。它包括一个具有一系列嵌入式软件的可编程电子系统,用于监测和控制温度和压力等过程参数。多区基板加热器阵列提供了可重复的温度曲线,而压电控制的气体射流允许精确控制反应性气体流动。该装置还具有红外光源,用于监测加工过程中基板的温度。APPLIED MATERIALS Centura DxZ旨在满足高精度、均匀且可重复外延处理的要求。其主要特点包括高精度、自动化的过程控制,以及低真空环境。其强大的设计还有助于防止污染和最大限度地提高吞吐量。Centura DxZ拥有先进的软件和嵌入式算法,能够在一定范围内保持温度和压力。机器包括完整的刀具监控功能,确保基板得到正确处理,并且所有工艺参数都保持在规范范围内。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是MBE沉积的可靠和生产性工具。其多种多样的配置和适当的调节环境使其成为先进半导体材料开发者的热门选择。它的一致性、效率和可重复性为实现最高质量的沉积提供了一个成本效益高的解决方桉。
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