二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9183987 待售

ID: 9183987
晶圆大小: 8"
Chamber, 8" Gas box missing.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor是一种高性能、多用途的设备,旨在满足现代半导体技术的需求。它为先进的设备制造和处理技术提供了最高水平的性能和可靠性。该系统是建立在一个先进的平台,这使得更好的过程控制和更高的精度。它可以容纳大型基板,并具有多种工具组,包括离子植入、湿蚀刻、干蚀刻和沉积。该单元还提供了一个高级用户界面,提供反馈,帮助工程师和研究人员优化性能。AMAT Centura DxZ反应堆有多个独立的工艺室,通过模块化轨道链接。这样可以并行执行流程,从而减少周期时间并提高吞吐量。机器的可配置组件(如可选择的气流)启用了可定制的过程和配方。该工具有一个板载射频/直流发电机,可产生高达五千瓦的功率,用于基板。这种高功率功能支持高级材料和设备处理。DxZ还包括一个主动温度控制资产,用于调节腔室温度,以确保最佳工艺性能的最佳条件。该模型还采用板载真空设备,调节工艺室的压力。这有助于确保清洁和低缺陷的生产环境,同时还能提供出色的真空均匀性。真空系统还有一个板载离子束,可用于清洁加工周期之间的腔室内部。该装置还具有高性能气体控制机,用于精确控制和监测加工气体的流动。这有助于提高流程准确性和吞吐量。该工具还可以与一系列监控和诊断工具集成在一起,这些工具提供有关流程的实时反馈。总之,应用材料应用材料Centura DxZ反应堆是一种可靠可靠的多用途设备,适用于先进的设备制造和加工技术。它提供无与伦比的性能、准确性和可靠性,以实现卓越的生产成果和吞吐量。
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