二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9184346 待售

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图为 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ 待售
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已售出
反应器
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Centura DxZ
ID: 9184346
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
CVD System, 8" Mainframe information: Phase 2 Robot type: HP LoadLock type: NBLL SMIF: X Process chambers: Chamber A Chamber B Chamber C Chamber D Cooldown chamber: Chamber E: MSCD Orient chamber: Chamber F: X (4) Process chambers Process: CVD Application: DXZ System controller: UPS Generator: Chamber A: RFG 2000-2V Chamber B: RFG 2000-2V Chamber C: RFG 2000-2V Chamber D: RFG 2000-2V Bottom module: Chamber A: 0090-01805 Chamber B: 0090-01805 Chamber C: 0090-01805 Chamber D: 0090-01805 Heater lift: Chamber A: 0010-38426 Chamber B: 0010-38426 Chamber C: 0010-38426 Chamber D: 0010-38426 Baratron: Model Torr Chamber A 626A11TBE 10Torr Chamber B 626A11TBE 10Torr Chamber C 626A11TBE 10Torr Chamber D 626A11TBE 10Torr Baratron: Model Torr Chamber A 122BA-00100EBS 100Torr Chamber B 122BA-00100EBS 100Torr Chamber C 122BA-00100EBS 100Torr Chamber D 122BA-00100EBS 100Torr Gas control : SERIFLEX TYPE Gas panel: Chamber A: LINE1 SiH4 500sccm UNE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 200sccm LINE7 H2 5SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3 SIM SIDE N20 500sccm Chamber B: LINE1 X LINE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 200sccm LINE7 H2 7SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3 SLM SIDE N20 500sccm Chamber C: LINE1 X LINE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 300sccm LINE7 H2 7SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3SLM SIDE N20 500sccm Chamber D: LINE1 N20 3SLM LINE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 300sccm LINE7 H2 7SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3 SIM SIDE N20 500sccm Packing list: Mainframe AC Remote rack Generator rack (2) Part boxes Power: 208VAC 1997 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ是一种经过适当设计和工程设计的反应堆，具有先进的材料工程和工艺能力。该反应堆可用于沉积、蚀刻和热退火等多种工艺，并经过专门设计，以满足各种应用的要求。AMAT Centura DxZ反应堆具有高效稳定的设计，能够实现高工艺吞吐量和可重复性。这是通过高稳定性和精确度、高质量和耐用组件以及根据客户需求量身定制的坚固、灵活的腔室设计相结合而实现的。这使得APPLIED MATERIALS Centura DxZ反应堆成为许多行业在需要高工艺结果时的首选。Centura DxZ反应堆装有先进的真空室，可用于高速率工艺的高重复性和低温烘烤。该腔室可配置用于各种特定用途，从涂层和掩蔽到蚀刻或沉积。这种种类繁多的工艺允许更广泛的底物成分和温度，并使反应堆能够用于多种应用，从而消除了对多个反应堆的需求。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DxZ还附带了与反应堆配合工作的自动化自适应控制系统，以确保最大精度、重复性和吞吐量，同时减少用户干预。该系统还有助于减少报废和缩短周期时间,同时提供诊断和过程控制工具,实现远程性能优化和周期时间优化。晶片在AMAT Centura DxZ上的定位也很容易，这要归功于自动定心和夹紧机构，它可以在没有人工辅助的情况下进行精确的放置和对准。此外，反应堆还配备了温度均匀性传感器，在过程中提供实时温度控制，确保整个过程中温度均匀。总体而言,APPLIED MATERIALS Centura DxZ反应堆的设计具有灵活性和可靠性,能够满足各种应用程序要求苛刻的工艺要求。反应堆是精确控制、高效和耐用的，有助于显着减少循环时间和增加产量，同时减少对多反应堆和人工干预的需求。
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