二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9230376 待售
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ID: 9230376
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8"
(3) Chambers: DxZ
Chamber A:
Manometer: 100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber B:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber D:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
1st Monitor: Through the wall
2nd Monitor: Stand alone
Narrow body loadlock
HP Robot
OTF
Valves: Unit MFCs
Filters: MILIPORE
Regulators: VERIFLO
System cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas pallet configuration:
Chamber A / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber B / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 2 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber D / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Process: Nitride deposition (Nit. Pass.)
1996 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DxZ Reactor是一个生产级的批量反应堆，能够为各种应用生产高性能材料。DxZ反应堆是为生产等离子体增强化学气相沉积（PE-CVD）而独特设计的。DxZ反应堆设计有转盘底座和4段多目标等离子体。这使得设备可以合成多种材料，如氮化物、氧化物、金刚石状碳（DLC）和硅基化合物，可以针对特定应用量身定制。转盘还用于在不同目标之间切换，允许耐磨多段目标。在运行中，DxZ反应堆采用三级工艺。第一阶段是气体引入，其中气体进入腔室并适当溷合合成。在第二阶段，脉冲等离子体由提供与过程匹配的功率的电力系统产生和维护。最后在第三阶段将基板放置在腔室中，由高频电场和气体溷合而成的反应物种沉积在基板上形成材料。DxZ反应堆还具有多种安全功能，以确保可靠运行。其中包括用于气体入口单元和带有可调计时器的排气机的安全联锁和压力传感器，以及高效颗粒物和有害气体过滤。由于其设计和特点，康宁AMAT Centura DxZ反应堆是生产高品质、高性能材料的绝佳工具。其坚固的设计、安全特性和多种基材，使其成为商业、工业和研究应用的绝佳选择。
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