二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura E 5200 #118505 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura E 5200是半导体工业常用的等离子体外延外延反应器。这个反应堆是一个多框架工具，允许同时进行两个同时进行的过程。它具有各种转变水平，从很低到很高不等。冷却区温度是可调的，允许精确稳定的过程控制。AMAT Centura E 5200专为150 mm以下的晶圆尺寸而设计,可提高生产效率。它还配备了双面加热器和冷却设备，从而提高了温度均匀性。这也有助于减少热诱导的应力,并以最小的热循环保持一致、准确的过程。该反应器具有低温、CMP末抛光和低温热喷雾共沉淀（CPC）工艺，用于高质量的亚微米装置。它还采用超低电容技术，在最小的空间内提供性能最好的晶体管。由于优化了静电卡盘、模夹和晶片夹紧系统，可以实现高公差。APPLIED MATERIALS Centura E 5200也能够进行多种激光过程，如Scan Rotation Tilt（SRT）和DNA。这些激光工艺使得先进的结构，如更大的互连密度，最窄的闸门和更可靠的通硅通气。反应堆有一个综合计量单元，允许工艺工程师监测设备的性能，并测量特定工艺的结果。此外,还提供了广泛的流程和开发工具,使工程师能够不断改进流程。其中包括射频匹配、射频测量和测试，以及FIZ（熔融电离区）控制。Centura E 5200是一个高性能、可靠和精确的反应堆，用于生产复杂的装置和先进的结构。其可调整的冷却区温度、双面加热器和冷却机、长期的工艺可靠性以及集成的计量工具等功能使其成为许多工艺工程师的首选。