二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293624199 待售
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ID: 293624199
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
AC Rack
Generator rack
2006 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax CT+是一种高通量反应堆,可以提供统一和可重复的结果,制造成本低。设计用于高温膜、氧化物、氮化物、亚硝基和聚合物的沉积性能。反应堆根据构型由2-5个工艺袋组成,并配有聚焦离子束(FIB)源和二次工序的电子束枪。AMAT Centura eMax CT+采用先进的热液源制造。这提供了高度均匀的沉积膜在大晶片尺寸具有特殊的晶片到晶片的可重复性。eMax CT+还允许可变真空压力和温度设置,允许精确控制薄膜的沉积速率、厚度和化学计量。这种工艺控制可以用通用工艺模块进一步优化,这是反应堆的标准配置。应用材料CENTURA E-MAX CT+包含高功率FIB源,在显微镜下提供对材料表面的精确操纵。使用此源,可以以较高的精度进行高级模式处理。此外,电子束枪允许纳米级控制薄膜过程。反应堆的先进技术可用于快速加工生产水平加工中的多种底物。它具有高通量晶片处理能力,具有统一和可重复的结果。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+是为在整个过程中提供可靠的晶圆质量、最佳的可重复性和可靠性以及低拥有成本而构建的。
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