二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293633129 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是为先进半导体工程设计的下一代等离子体蚀刻反应器。此创新解决方桉经过精心设计,可提供卓越的性能,以实现卓越的工艺产量和可重复性。eMax CT+反应堆采用独特的专利设计，将行之有效的高效电感耦合等离子体（ICP）技术与创新的探测器和可操作性增强相结合，以实现顶级工艺控制。这种功能强大的组合使得eMax CT+成为一种非常可靠和高效的纳米加工工具。eMax CT+反应堆设有先进的晶圆定向设备，为蚀刻室中的两个晶圆提供精确对准。这样就可以生产具有非常小的特征大小的高分辨率阵列。eMax CT+还结合了可变腔室压力系统，使机组内的气压得以调节，确保了准确和可重复的工艺结果。反应堆还利用快速反应石英晶体监测仪，使过程实时监测和优化。eMax CT+还采用了先进的气体输送机，通过体积调节优化工艺参数，实现了工艺配方的快速迭代探索。反应堆还利用先进的配方管理软件，使工艺参数动态改变。为了提高生产率,eMax CT+反应堆还提供多盒式装载功能以及低负载级监控。eMax CT+还配备了先进的冷却工具,结合了精心优化的液体冷却系统和变速风扇,可提供可靠和一致的过程稳定性。强大的冷却资产还可以在腔室中实现更有效、更精确的温度控制，从而在蚀刻腔中实现更精确、更可重复的过程。eMax CT+反应堆被设计为一种用途极为广泛的工具，能够处理广泛的基材材料，如钨、钛、铝和氮化钛，从而实现了广泛的工艺应用。该型号可处理高达6英寸的晶圆基板，最大工艺速率为600 nm/min，为先进的半导体工程提供顶级性能。
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