二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9115996 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一种化学气相沉积（CVD）反应器，用于薄膜和纳米材料的高级外延生长和沉积。这种CVD反应器的特点是具有扩展的活动体积和大半径环路的工艺室。它提供了高精度的温度和气流均匀性，先进的敏感器设计，以及高纯度的工艺环境，使其成为具有挑战性的沉积挑战的理想选择。AMAT Centura eMax CT+是为高性能应用而设计的最先进的CVD反应堆。其较大的活动性体积和环状半径使得其非常适合多区生长和先进的外延沉积过程，如纳米材料和其他需要高长宽比和步长控制的材料的沉积。反应堆还对晶圆上的气流和温度提供先进的控制，以提供均匀性和准确性。反应堆采用先进的触摸屏用户界面，便于访问工艺参数、配方和工艺数据。它还具有用于设定点控制的集成压力和Crucible温度控制器、用于优化过程控制的低压传感器以及用于安全过程操作的高级监控和保护功能。用户界面还允许对腔室的环境进行实时监控，从而便于根据需要调整或维护工艺条件。反应堆对工艺环境提供广泛的温度控制，温度范围可达1200 °C。此外，它在晶片上的高均匀性提供了良好的起始温度和峰值温度，整个晶片上有低温波纹。其可选的磁感器升空特性还允许晶片在沉积过程中受控热膨胀。反应堆还具有体积小巧、功耗低的特点，使安装和运行更加容易和高效。它专为高效利用资源而设计,还可以使用笔记本电脑或移动设备远程操作,以提高灵活性和生产率。此外,它减少了占地面积,减少了对大型加工区的需求,进一步增加了空间和成本节约。应用材料CENTURA E-MAX CT+旨在解决具有挑战性的沉积难题,同时提供安全、可靠和高效的体验。其先进的设计和特点使其成为各种半导体制造工艺的经济高效且用户友好的选择。