二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9195718 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一种高性能反应器，专为在化学气相沉积（CVD）应用中提供优越的效果而设计。凭借其高功率的平台、高效的设计和先进的功能，这座反应堆最大限度地提高了性能和吞吐量，同时帮助降低了每晶圆的成本。AMAT Centura eMax CT+是围绕精密双线直流电动机设计的,该电动机具有高精度的非接触式光学编码器,使电动机能够在工艺区域内精确定位基板。该电动机与两相感应自动控制一起,可实现平稳、可重复和可靠的过程。该反应堆的动力设备是外部控制的高频交流电源，可变功率输出高达24千瓦，为特定应用提供了最佳的能效。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+配备了广泛的高级功能,以确保在CVD过程中的可靠性能。这包括一个先进的压力安全系统来控制工艺环境，一个集成的石英冷壁热管理单元来最大限度地减少沉积过程中的热损失，以及一个化学源温度管理机器来确保源气体的温度一致且可重复。此外，CENTURA E-MAX CT+可以通过直接接触热电偶和热电冷却器热电偶监测和控制工序区温度，确保均匀一致的结果。反应堆还设有实时监测工具，以确保安全运行，并限制损害样品完整性的可能性。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+是一种先进的高性能反应堆，可以提供卓越的CVD处理结果。AMAT CENTURA E-MAX CT+的高效设计、精密电机、强大的交流电源和一系列先进的功能相结合,成为先进的化学气相沉积应用的最佳选择。