二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9259969 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+
ID: 9259969
System (3) Chambers.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax CT+是一种下一代半导体反应堆,旨在以最大的吞吐量和效率生产出质量最高的半导体材料。设备提供全套工艺工具,包括外延、离子注入、垫片蚀刻,以及高真空工艺室、超高温、低噪声低振动环境等先进工艺能力,非常适合高产、低缺陷生产。AMAT Centura eMax CT+还具有基材加工方面的关键进步,包括高度均匀一致的晶圆掺杂型材和均匀的外延层高度,从而提高了产量并提高了器件性能。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+提供了广泛的腔室大小和配置,所有这些都具有灵活的工艺能力,包括单晶片、批处理和多腔室系统。它提供各种用于等离子体蚀刻、沉积和外延的工艺气体,具有高精度计量和现场监测能力。该系统灵活的配方定义、自动化的工作流控制以及优化的晶圆处理提供了可重复和可靠的体验。该单元还提供自动晶片加载、卸载和跟踪,并提供实时数据收集和分析。高级实时跟踪和报告仪表板提供详细的流程分析并生成数据,使用户能够识别趋势、查明问题并跟踪流程改进。先进的过程控制和优化工具,如预测退火器和自适应掺杂,提供提高产量和质量的结果。Centura eMax CT+的设计具有低维护要求和环保操作,包括自动晶圆清洗、先进的过滤机和高效的操作员维护计划。该工具具有一套维护自动化功能和强大的通信功能,可帮助减少流程停机时间并保持工具可用性,从而最大限度地提高生产吞吐量和准确性。总体而言,APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一种先进、坚固和可靠的半导体反应堆,能够以最大的吞吐量和效率生产出质量最高的材料。
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