二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9286890 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是为各种标准化、快速可靠的沉积方桉设计的多工具沉积系统。这款反应堆采用专有的"即时"室内个性切换技术,为要求最苛刻的应用提供了真正的灵活性。多个模块化设计允许用户友好的配置和选项。这种装置是为晶片尺寸最大为8英寸和几种沉积过程而设计的,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)和原子层沉积(ALD)。它还具有即时进程世界交换功能,允许用户从CVD切换到ALD,而无需中断进程序列。这样可以节省时间、精力和资源。AMAT Centura eMax CT+配有一个多功能双区域腔室和五个源端口,最多可容纳三个前体和两个质量流控制器。集成的负载锁定系统和自动保护系统保护过程和基板免受污染、快速加热和冷却以及气体输送精度的影响。统一的用户界面和高精度的运动控制等同于一条短的学习曲线,提供简单的用户体验和一致的结果。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+还具有高通量的多重配置设计,提供了操作的灵活性,可以快速可靠地处理大量的工艺条件和基板。它还提供多个腔室和特殊选项,例如低真空和高真空选项、用于PVD模块的两个独立平面磁控管以及用于温度剖析的晶圆映射功能。APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是最先进的反应堆工具之一,可提供最大的灵活性和精确度。它提供了广泛的多用途工艺功能,使其适合各种应用,从薄膜太阳能电池和MEMS设备到薄膜驱动器。Centura eMax CT+凭借其独特的On-The-Fly室内个性切换技术,是任何半导体、MEMS或电子应用的理想选择。
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