二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9293616 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+Reactor是一种晶圆製造系统，用于利用化学气相沉积（CVD）蚀刻半导体晶圆。该反应堆采用小型模块化设计，非常适合洁净室环境，能够蚀刻所有类型的材料。AMAT Centura eMax CT+提供了高度的精确度和控制力，使其能够将材料精确蚀刻到原子水平。该系统设有沉积室、反应物输送模块和机器人臂。沉积室容纳晶片，机器人臂用于在晶片蚀刻时以连续运动的方式移动晶片。反应物输送模块是将反应物引入沉积室的地方。反应物一般为气体，如硅烷、氨、乙炔，引入速率由质量流控制器（MFC）控制。MFC确保反应物以安全和均匀的速率被引入腔室，防止不需要的反应发生。沉积室还装有专门设计的用于传导等离子体增强CVD工艺的电极组件。这个组件由一个较低的电极组成，该电极与反应堆主体相连，还有一个垂直旋转的等离子体射流，负责产生等离子体。等离子体射流确保反应物分解成较小的分子，然后沉积到晶片表面。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+能够通过水平旋转蚀刻室快速蚀刻晶片，具有高度的精度和控制力。腔室由上下压板组成，晶圆放置在两者之间。当下部压板独立控制时，上部压板以连续运动的方式移动，从而实现所需的蚀刻模式。此外，APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+能够并行运行多个反应堆，用于更大的生产作业。每个反应堆连接到相同的电源和共享资源，提高了处理速度和效率。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+反应堆提供了广泛的功能，使其能够以精确和精确的方式蚀刻大部分材料。是生产高性能半导体晶片的理想选择。