二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9352627 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+Reactor是一种高性能、先进的蚀刻沉积工具，用于制造集成电路和其他先进的电子器件。该工具结合了标准的集群工具和集成的MaxJET™ IIXE梁元素技术（BET）源，提供了先进的蚀刻和沉积过程。该反应器用于半导体制造，以精确沉积或蚀刻材料。它使用MaxJET™的IIXE BET源将材料输送到晶片，然后由计算机控制的高速喷射流从沉积室或蚀刻室中驱动。射流提供了材料向基板的精确而均匀的传输。eMax CT+还利用过程数字磁性平面控制（MPC）设备精确控制蚀刻参数。该系统提供对蚀刻过程的完全控制,以实现最高的精度和可重复性。eMax CT+包括一个标准群集工具,其中包括高级功能,如源对齐、热打孔和分配、晶圆放置的视觉单元、安全的数据传输以及自动化的过程优化。群集工具可确保可重复和可靠的处理,同时可视化检查可提供更高的产量和吞吐量。此外，反应堆还配备了一系列的测控系统，以确保精度和性能。这包括一台光学诊断机，用于监控腔室压力、气流、温度、表面拓扑和气体成分等工艺参数，以确保最佳运行。AMAT Centura eMax CT+Reactor是一种可靠、高性能的工具，用于在集成电路和其他半导体器件上产生先进、精确的特性。它利用集成的MaxJET™ IIXE BET工具、Process Digital MPC资产以及一系列的测量和控制系统来确保精确和可重复的蚀刻和沉积过程。该反应堆非常适合制造集成电路、电子器件和其他先进器件。