二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9384969 待售

ID: 9384969
晶圆大小: 12"
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一种先进的化学气相沉积(CVD)反应器,专为满足半导体器件制造的苛刻要求而设计。这款高性能工具利用一流技术和尖端工程技术的独特组合,提供卓越的一致性、准确性和可重复性。CT+具有许多功能,包括紧凑、流线型的设计,可在给定的占用空间内实现最高级别的性能。此外,CT+还进行了精确调整,以创建和维护最佳沉积配方。AMAT Centura eMax CT+是一个先进的实验室规模的CVD反应堆系统,利用高性能、低温等离子体源进行沉积和蚀刻过程。该反应堆能够在单个基板上制造多层集成的微/纳米结构。CT+具有用于加热基板和基板箔的集成炉系统,以及用于原子层沉积的单独蚀刻室。该工具的坚固设计允许温度从200°C到1150°C,以方便各种过程。CT+得益于一系列先进技术,包括相控锁环路(PLL)频率控制、嵌入式可编程逻辑、数字网络控制和直流偏置控制。这些独特的功能使过程参数具有极高的准确性和可重复性。此外,CT+还提供气体歧管和分配系统,用于稳定和可重复的气体输送。CT+的设计还允许用户快速、轻松地更改或修改腔室配置。最后,APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+是专门为半导体器件制造而设计的先进、高性能的CVD反应器。其独特的技术和卓越的设计相结合,为所有沉积和蚀刻过程提供了卓越的均匀性、准确性和可重复性。CT+的小占地面积进一步使其成为实验室的理想选择,因为实验室需要最大限度地利用它们的空间。
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