二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9390590 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+是一种高性能的半导体生产反应堆,旨在确保先进半导体和光电器件的高效、经济高效的生产。反应堆是一个Epi-Ready设备,带有一个负载锁定臂。它能够在批量和连续运行模式下执行各种反应堆过程。反应堆的工作压力范围为5-600 Torr,可在-17°C至752 °C的温度下运行。它具有独特的低温多室设计,可提高工艺能力。此外,它还提供了一种低压场发射电子束源,提供高电子电流密度和对整个晶圆表面电子束均匀性的良好控制。AMAT Centura eMax CT+反应堆具有最先进的超低噪声电动机驱动系统,可确保更快的电弧打开和更好的电弧均匀性,并最大程度地减少来自等离子体噪声的干扰。它具有功能丰富的计时管理单元,为高级流程控制提供了灵活性。该反应堆还通过减少基材对基材的影响,提高了工艺均匀性,提高了工艺可重复性。反应堆由于其先进的氧化控制单元而高效,有助于提高氧化过程的有效性,降低总体拥有成本。此外,应用材料CENTURA E-MAX CT+反应堆采用强大的涡轮分子泵机设计,提高了泵送速度,降低了总拥有成本。反应堆还配备了先进的软件,使操作员能够轻松准确地监测和控制关键参数。总体而言,CENTURA E-MAX CT+是一种坚固可靠的半导体生产反应堆,可提高生产产量和工艺一致性。反应堆对先进技术和特性的整合提供了最大的性能和成本效益,同时确保在整个生产过程中达到最高行业标准。
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