二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9139787 待售

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ID: 9139787
Dry etcher I Phase II Body MEMS line : 8” 2005 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax是一种高性能反应器,设计用于半导体超导层状基板的高质量加工。AMAT Centura eMax配备了高级设计功能,可帮助确保沉积薄膜层的制造和表征达到最高水平的均匀性和性能。APPLIED MATERIALS Centura eMax利用PC控制的机械臂加载机制在高真空环境中运行,并将多块半导体基板安全高效地加载到系统中。该系统控制基板运动、气体流动和选定的工艺温度。机器人的功能提供了最可靠的精细晶片的处理,并能够准确放置材料成功沉积到基板上。Centura eMax还包括几个高级流程。它可以配置远程等离子体增强型原子层沉积工艺(ALE Depositing),也可以与化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)等其他技术兼容。与传统的沉积工艺相比,ALE沉积提供了均匀性、可重复性和改进的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax还使用户能够通过各种胶片堆栈专门处理其基材,从简单的金属氧化物层到需要<100埃多层的复杂基材。AMAT Centura eMax的本质安全设计结合了自动化功能,可最大程度地减少操作员干预,并在沉积材料中提供高度的可重复性和准确性。其高效的布局与高级监控、过程控制和数据收集功能相结合,减少了停机时间并提高了运营效率。这些密室设计方便维护、检查和消除污染,集成的安全功能使APPLIED MATERIALS Centura eMax非常方便用户使用。Centura eMax是一个坚固、高性能的反应堆,用于高效和可靠的底物加工。其先进的设计特点使其成为要求在制造和表征超线程层状基板时具有最高均匀性和准确性的应用的理想选择。对于最先进、质量最高的半导体基板,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura eMax是理想的系统。
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