二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9227021 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax反应堆是一种高度先进的半导体反应堆，提供制造先进光刻系统所必需的关键芯片蚀刻技术。该反应器的设计使精密的微加工具有极高的精确度和高稳定性，以满足要求苛刻的半导体工艺的需求。AMAT Centura eMax反应堆的核心是一个先进的蚀刻室，由先进的熔融二氧化硅材料构成。该腔室在各种制造条件下提供卓越的热稳定性和良好的环境控制。腔室保持在高达300 °C的温度，这有助于提高工艺速度。此外,简单的设计可确保快速反应时间,有助于减少误差并提高产量。该腔室还配备了独特的CCD成像系统，可让工艺腔室快速准确对准。这有助于确保最佳的基板对齐，导致更高的产量和更少的基板缺陷。采用独特的光子蚀刻脉冲系统，进一步提高光刻工艺的精度和速度。该系统有助于提高蚀刻工艺的均匀性。加热蚀刻室由先进的磁控管驱动，可提供高精度和重复性。这种高度受控的环境有助于减少与流程相关的可变性并降低成本,同时保持尽可能高的产量。这是一个广泛的配方库,使用APPLIED MATERIALS Centura eMax反应器可以轻松定制,以满足广泛的设备需求,如高长宽比结构、低压工艺管理和高速蚀刻。反应堆还结合了多项安全功能，包括主动冷却墙、热关闭和故障安全验证锁定。所有这些特性结合在一起，确保了一个安全可靠的光刻工艺。为了提高便利性，反应堆还具有远程监测功能，可实时远程更新进程。总之，Centura eMax反应堆是一种先进的蚀刻和光刻工具，为先进的半导体制造工艺提供了更高水平的可重复性和准确性。这种最先进的设备能够满足最苛刻的流程要求,同时为用户提供从头到尾的安心和对流程的全面控制。