二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9260048 待售
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ID: 9260048
晶圆大小: 8"
System, 8"
Model: Centura 5200 I
(3) Chambers
Centura 5200 I PH2 Mainframe
Loadlock: Wide body
SBC: V452
Robot: VHP+
Loadlock features:
Body loadlock: Wide body
Slit valve door O-ring: Viton
UNIVERSAL Wafer / Cassette sensors
Manual lid hoist
Helium cooling: MKS 649
Gas panel type: Seriplex
MFC Type: Unit 8160
No dummy wafer storage
eMax Chambers A, B and C
Gate valve: VAT
MKS Manometer, 1 Torr
Chuck: Ceramic ESC
ALCATEL ATH 1600 Turbo pump
ALCATEL ACT 1300 M Turbo pump controller
RF Match box: 0010-30686
ENI OEM 28B RF Generator
Endpoint type: Hotpack
Chamber F: ORIENT
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax是Centura系列先进蚀刻沉积反应堆的升级版,用于制造集成电路(IC)。它是业界领先的设备,专为提供卓越的设备性能和过程控制而设计。系统配备10板、单室源配置。此配置在蚀刻和沉积过程中实现了更高的吞吐量、更高的生产率以及更大的灵活性。该机利用其主动气体分配技术、等离子体源阵列和专有射频装置,有效地控制了蚀刻沉积过程。该工具与集成的高级流程监视器配对,该监视器为用户提供了更好的针对所需流程结果的能力。它还配备了内置的清洁功能和自动化的可调滤波器,帮助用户优化沉积过程。该资产在基板上采用统一的材料分布-无需在制造过程中进行人工干预。这大大简化了过程,减少了人为错误的可能性。AMAT Centura eMax还配备了先进的温度控制模型,帮助用户在蚀刻过程中保持稳定的温度。这样可以确保以相同的精度蚀刻IC基板的多层,从而形成均匀的逐层厚度。设备还针对速度和吞吐量进行了优化,允许用户以最高效率生产IC。采用垂直集成和紧凑因子设计有助于实现这一点。除了先进的技术外,APPLIED MATERIALS Centura eMax还具有用户友好性-使用户可以轻松管理和监视系统。它的用户界面包括直观的视觉提示和交互式工作流,可简化流程管理并减少出错的可能性。总体而言,Centura eMax是业界领先的高级蚀刻和沉积反应堆,旨在提供卓越的设备性能和过程控制。它针对速度、吞吐量和准确性进行了优化,使用户能够以最高效率制造高质量的IC。
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