二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9235111 待售

AMAT/应用材料CENTURA ENABLER E2是下一代多室干蚀刻反应堆。它非常适合经济高效地生产高级设备结构,非常适合MEMS、RF、功率半导体和高级封装应用。AMAT CENTURA ENABLER E2具有模块化设计,可在单个紧凑的设备中提供高通量的射频等离子体蚀刻、深度蚀刻和飞行时间蚀刻功能。它具有两个独立控制的源室和一个等离子体室。这些腔室可以最佳地配置为处理不同的材料和结构。源室具有独立功率控制的射频激发特性，允许大面积蚀刻介电，难以蚀刻材料。射频功率可在20kHz级内调节至500W级,并可应用于直径大于6英寸的区域。源室还包括晶圆位置映射和伽马射线辅助晶圆加载等便利功能，以改进配方转移和精确蚀刻控制。等离子体室提供具有反应性和惰性气体化学性质的深度蚀刻，便于地形和特征优化。蚀刻速率可在0.5至500 nm/min之间调节，腔室还支持高达1000 °C的基板温度控制。该腔室还包括感应和电子回旋共振激发模式，以及一个先进的感应线圈，以实现最佳的空间电流分布。应用材料CENTURA ENABLER_E2包括一个内置的抽水负荷锁和一个快速污染回收系统。负载锁维持晶片加载之间的超低真空，以减少加载和卸载时间。此外，负载锁包括一个主动冷却烘烤单元，它允许更短的烘烤时间，而不影响质量。总体而言，AMAT CENTURA ENABLER_E2是一种先进的多室蚀刻反应堆，允许在单个紧凑的机器中进行各种生产过程。它具有高性能的蚀刻功能,非常适合生产MEMS、RF、功率半导体和先进的封装技术。此工具的可靠性能和成本效益使其成为许多应用程序的可靠选择。