二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9249293 待售

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ID: 9249293
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Etcher, 12" 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2反应器是一种高性能分子束外延(MBE)工具。旨在以前所未有的精确度和可重复性促进优质薄膜材料的生长。E2反应堆采用专利场调制膨胀结构,旨在通过在基板之间引入交替电位来提高生长过程的稳定性。E2反应堆还具有基板旋转控制(SRC)技术,以确保基板的平滑和可再现旋转,并与8"和4"基板兼容。E2反应堆的最高温度范围可达970°C,并提供高精度动能分析仪,用于精确检测和分析MBE生长层样品。此外,E2反应器允许将氧化过程延长至1000 °C的过程温度,并具有快速的响应时间。E2反应堆还设有先进的可编程电动可调快门,可用于在系统上可用的不同MBE源之间进行切换。快门还允许在增长过程中同时使用多个MBE源。这使得系统可以用于生长具有不同特性的多层,以方便开发新的和独特的材料。E2采用先进的热电偶提供高精度温度控制,提供精确的温度控制,响应时间快。此功能可确保每个生长过程的温度控制均匀且可重复。此外,温度控制设置可以定制以适应不同的增长过程。E2反应堆还设有一个专门设计的腔室,以提供适合分子束外延过程的低压环境。该腔室的设计目的是尽量减少污染,并能够维持高达10-8 Torr的底压。一个易于访问的腔室端口为用户提供了在此过程中对生长腔室的访问权限。最后,AMAT CENTURA ENABLER E2反应器是一种高性能的MBE系统,旨在生长和分析高质量的薄膜材料。该反应堆采用了许多先进的技术,以确保准确、可重复的增长过程以及具有不同特性的多层生长能力。其高精度的温度控制和低压环境使得E2成为分子束外延应用的理想工具。
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