二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9281495 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2是市场领先的用于先进设备制造的高密度等离子体氧化物蚀刻反应器。它可提供高吞吐量、过程一致性和污染控制,从而实现卓越的设备性能和可靠性。具体来说，Enabler E2是一个感应耦合等离子体（ICP）蚀刻反应器，具有专有的设计，使其能够产生高密度的均匀等离子体，在特征几何形状内进行深层蚀刻。此外，该设备还包含一个独特的蚀刻室，能够提供高长宽比特征蚀刻所需的高密度等离子体，使其非常适合制造极小和复杂的结构。该腔室最多配备四个电磁驱动的反应性气体源，为用户提供微调任何应用过程的能力。AMAT CENTURA ENABLER E2还配备了闭锁系统，以尽量减少颗粒和污染水平。它提供快速、自动化和精确的晶片加载和卡盘维护过程,以最大限度地提高吞吐量。这使得污染水平保持在最低限度，从而实现可靠的工艺和提高产量。Enabler E2是一个高度可定制和灵活的单元,能够处理直径不超过200毫米的晶片,温度从室温到200摄氏度不等。这使得机器非常适合各种先进的设备制造过程，如氧化物蚀刻、CMP和沉积。简而言之，APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER_E2是行业领先的用于先进设备制造的高密度等离子体氧化物蚀刻反应器。它具有高密度均匀等离子体设计、可定制蚀刻室以及用于污染控制的闭锁工具，使其能够安全准确地处理各种尺寸和温度。Enabler E2能够在特征几何形状内进行深度蚀刻,并最大程度地减少颗粒和污染程度,因此提供了卓越的设备性能、可靠性和屈服率。