二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9053770 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi设备是一种用于形成薄膜和外延层的反应器。该系统是一个高度紧凑、集成的化学气相沉积（CVD）室，具有专利的自动加载机制。该装置旨在提供快速、可靠的各种材料加工，如光学、光伏和有机半导体材料，具有精确度和可重复性。AMAT Centura Epi Machine被设计为在CVD条件下处理各种材料的先进多功能工具。此资产基于可靠可靠的机械设计,可轻松将单个组件集成到自动化生产过程中。模型的模块化设计为满足不断变化的生产环境中的处理需求提供了灵活性和可扩展性。应用材料Centura Epi设备是使用不锈钢和陶瓷部件制造的，这些部件能够抵抗腐蚀、温度冲击和磨损。该系统专为各种材料和材料组合的高温高压加工能力而设计。该单元还具有低成本的柔性腔室设计，能够沉积许多不同的层或材料。Centura Epi Machine的几个关键部件包括模块化两区容器、供气模块、电源调节单元、真空泵和集成控制器。两区容器是一种先进的密封室，将温度和压力均匀性传递到材料表面。供气模块供应加热或冷却的过程气体，并允许快速的过程变化和快速的气体切换。集成控制器直观但功能强大,可以编程为自动执行多个过程步骤。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Epi Tool还提供高级工艺控制功能,包括实时压力和温度控制以及多参数工艺监控。该资产还提供了一系列工艺选择，如氮化物和低压化学气相沉积（LPCVD），以实现最佳膜的形成和控制。AMAT Centura Epi模型是用于形成薄膜和外延层的高度先进和通用的工具。这种设备对各种材料进行快速、可靠的处理,并采用低成本的灵活设计,以适应不断变化的生产要求。它还具有高级过程控制和监视功能,以确保可重复和一致的性能。