二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9150159 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一种先进的反应堆，设计用于在基板上传导半导体材料的外延（薄层生长），同时确保所得材料的卓越均匀性和质量。AMAT Centura Epi反应堆能够在200°C至900°C的温度范围内生长材料，晶圆基板接触均匀度± 5°C。专为降低缺陷密度，提高全过程产量而设计。反应堆紧凑，可用于各种半导体和材料加工作业。它有一个可流化床，可容纳200克材料，有一个3英寸宽的床，以容纳更大的样品。床的设计是为了获得基板的均匀处理，并提供高水平的过程控制。它配备了可控制腔室内加工条件的再循环风扇。仪器还配备了高温电阻加热器，在整个基板上提供高温均匀性。功率单元可以精确控制整个炉膛的均匀流量,炉膛的范围可达1200 W,从而确保高温均匀性和工艺均匀性。APPLIED MATERIALS Centura Epi系统还带有数位-视觉介面设计和改进的运动控制等多项进阶功能。运动控制可以在手动和自动模式下准确控制过程时间。它还配备了具有集成反馈和分析功能的实时过程控制，允许更好的过程优化和控制。总体而言，Centura Epi是一个先进的反应堆，专为外延和其他半导体工艺而设计，使用户能够精确控制基板加工条件，并确保所得材料的卓越均匀性和质量。其紧凑的尺寸和先进的特性使其成为半导体和材料加工行业应用的理想解决方桉。