二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9155788 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一种最先进的外延反应器，设计用于优越的晶圆-晶圆一致性和优越的均匀性。它是复合半导体器件和材料制造中应用最广泛的外延反应器之一。AMAT Centura Epi反应堆设计为高度可靠，在广泛的温度和工艺条件下生产均匀一致的外延膜。APPLIED MATERIALS Centura Epi反应堆设备的主要部件包括一个底物晶片、一个epi室和相关的工艺室，在那里进行完整的外延过程。基片晶片在加热的真空环境中悬浮并加热在epi腔内。该工艺室利用多个淋浴头和一个炉提供均匀的气体和气体溷合，然后逐步积聚所需的材料组合，在基片上形成外延层。CenturaEpi工艺能够在广泛的条件下精确控制晶圆温度和外延生长速率（EBR）,从而确保膜的均匀性和外延膜的最高质量。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Epi反应堆系统提供了卓越的晶圆-晶圆一致性,并通过先进的温度控制、准确的气体溷合和产品的可追踪性进行了保护。为了使设备工作最佳,AMAT Centura Epi反应堆采用了一套先进的光学器件,即烤箱、红外成像机和CCD成像工具。烤箱设有高温石英晶窗，可直接观察外延生长过程。红外成像资产允许对基板温度进行精确监测，而CCD成像模型则用于记录主动外延生长过程。APPLIED MATERIALS Centura Epi室的温度可以通过一组可编程的温度设定点进行远程或手动监控。通过添加加热元件进一步提高设备的温度稳定性，即使在生长条件迅速变化（例如温度突然升高）的情况下，加热元件也能保持epi室的温度。总体而言，CenturaEpi反应堆是一种用途广泛且高度可靠的外延系统，能够生产出质量优良的外延膜，具有优异的均匀性和晶片对晶片的一致性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反应堆凭借其先进的光学、温度控制和工艺灵活性，被广泛接受为高性能外延膜的行业标准。