二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9157497 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一种高温加工工具，通常用于制造微电子、光电子和MEMS设备。它是外延沉积、扩散、离子植入等蚀刻过程的理想选择，由于其可靠的性能、可重复性和长期的稳定性。该工具采用垂直热壁、单晶片反应堆设计，最多可有两个腔室，允许在一台设备内进行多个工艺步骤，如预清洁和/或外延生长。腔室配有射频动力外壳、负载锁、排气气室和石英淋浴头。可移动LN2冷却的唇部将锁载室与沉积室分开，从而可以引入基材。工艺温度范围为-150 °C至850 °C，允许广泛的操作范围。AMAT Centura Epi包括可编程控制器,允许用户调整过程控制参数。它还可以使用远程界面操作，允许用户在远离机器的同时监视和调整进程。该系统设计有污染监视器，允许用户反馈流程参数，以确保环境清洁。APPLICED MATERIALS Centura Epi可用于多种应用，包括介电沉积和氧化、绝缘子上硅（SOI）的产生、屏障层和低k介电的沉积，以及浅结的形成。最适合用于制造集成电路、半导体、光电、MEMS和其他类型的设备应用。Centura Epi提供了多种流程选项,例如批处理、顺序处理和内联处理。批处理包括将许多基板加载到设备上,将它们一起处理,然后一次全部卸载。顺序处理允许一次处理单个基板。当过程集成到生产线中并且基板暴露于多个过程中时,将使用内联处理。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Epi提供了可自定义的设计,允许用户将自定义组件集成到机器中,并定制工具以满足其特定需求。其可靠性、可重复性和长期稳定性使其成为生产集成电路和其他半导体器件的可靠、通用的工具。