二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9211674 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反应堆是一种定制设计和高度定制的外延生长工具,能够在生产规模上生产高质量、均质的薄膜。该工具专为集成电路（IC）制造商设计,从晶圆到晶圆以及每个晶圆内提供精确、精确的薄膜厚度和均匀性。此工具的主要目的是为提高设备性能和可制造性创建更好的基板。AMAT Centura Epi反应堆是在半导体基板上生长高质量薄膜层的进化过程。它具有具有高密度等离子体源和单一晶片系统的双基体沉积室。该工具彻底改变了epi增长,因为它可以在450mm和300 mm晶片上运行,并且能够实现比以往更高的吞吐量。腔室绝缘良好，配有数字控制器和视频监视器，实时监控过程结果。该反应堆具有多个顶端源，包括射频和直流偏置源，能够自动调整每个沉积循环之间的温度和压力。它还包括一个专利底物支架设计，以促进光滑，均匀的溅射沉积，产生一致的薄膜厚度和组成。此外,APPLIED MATERIALS Centura Epi对可能影响晶片质量的热力学和动力学参数提供了如此精确的控制,即使在极端晶片尺寸或具有挑战性的工艺条件下,它也能产生坚固和可重现的高性能epi晶片。CenturaEpi非常适合在用于IC制造过程的基板上生产薄膜层。凭借其创新的设计和易于配置以满足IC制造商生产需求的能力,它为生产商提供了最新的外延技术,以提供出色的基板性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi可用于多种应用,包括但不限于MOSFET制造、低泄漏晶体管和高速互连。它为IC创造具有弹性和可靠的基板提供了有效的解决方桉,使IC能够在高温和高压环境中运行。