二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9215491 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反应堆是一种用于半导体制造的垂直反应堆。它是一种沉积系统，用于在生产半导体芯片时使用的硅片上生产薄膜。Epi反应堆由三个主要部件组成：主室、主载流子和次级室。主室由不锈钢构成，由两个主要部分组成：放置晶片的顶部和容纳晶片支撑载波的底部。主载波是一个由两个旋转木马组成的系统，围绕主室的周长运行。这个系统允许多层沉积在晶片上，因为它们传播围绕腔室。二次腔室装有用于确保沉积材料沉积均匀的虚拟晶片。Epi反应堆通过创建化学气相沉积（CVD）工艺运行。这一过程涉及在反应堆内放置带有化学前体的气体，如硅掺杂气体或有机物。然后将气体加热到由过程决定的温度。加热的气体与晶片反应，在其表面形成薄膜。这层膜的厚度取决于过程的温度、晶圆在反应堆中花费的时间以及所使用气体的化学成分。Epi反应堆是一个可靠的半导体生产工具，允许快速和一致的薄层沉积。它的高温能力允许沉积更复杂的层，如不同材料的堆迭层。精确校准沉积温度的能力和控制层厚度的能力使得层的产量高、质量高，使其成为半导体生产的重要组成部分。由于其顶级的安全特性和严格的维护检查，Epi反应堆仍然是半导体工业中最可靠和最高效的反应堆之一。它简单明了的设计和简单的用户界面，使其成为一系列生产需求的经济高效的解决方桉，其高温能力使其能够用于一些最先进的层结构和材料的沉积。