二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9229958 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi反应器是一种用途广泛的下一代等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）机器,用于薄膜半导体的外延生长。设备经过优化，可提供最佳的均匀性、高通量和先进的工艺能力，以满足要求苛刻的半导体器件应用。AMAT Centura Epi采用两区架构，同时采用PECVD和Edge分级PECVD （EG-PECVD）工艺，用于薄膜半导体材料的质量沉积。该系统采用分体式腔室设计，确保有效的蒸气输送和材料放置到晶圆表面。这加上腔室的低压操作提供了低应力水平和最小化的非均匀性可重复的结果。APPLIED MATERIALS Centura Epi能够处理一系列的材料，包括硅、硅、和复合III-V化合物。另外，反应器具有执行二极管间隙填充、离子注入和电极沉积等过程的能力。该装置旨在提供最新半导体器件应用所需的高纯度、均匀性和高级工艺能力。Centura Epi反应堆非常适合多家公司之间的多种协作。它提供了高度的专业化和灵活性,使广泛的用户能够为大规模生产构建自己独特的流程。用户还可以完全自定义其进程参数。最后，该机器配备了先进的过程控制系统，可监控过程性能并确保产品质量一致。它还提供了广泛的集成诊断,包括详细的实时配置文件测量和温度映射。这有助于简化生产过程并提高生产效率。