二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9238130 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi Reactors是气体外延系统,旨在以伪批量模式运行,以生长平面、复杂或复合外延层。Epi反应堆是为了在硅、的、金刚石、硒化锌等材料上进行高端外延研究和生产而设计的。该设备采用集成的可调激光或光发射光谱（TLS/OES），对系统中的成分进行实时监测，并检测反应堆中的反应条件。这增强了设备的性能,使其能够进行高端生产,同时提供准确的过程控制。AMAT Centura Epi反应堆是围绕AMAT Pro系列反应堆设计而设计的。这包括更大的石英锁载室、更容易操纵晶片的大型加工晶片区域和用于强劲生长的吡咯烷板等特点。吡咯烷板提供反应物均匀分布，完全暴露于径向外延燃烧器。与圆柱形反应器设计相比，吡咯烷板得到了改进，消除了径向燃烧器引起的热点效应。APPLIED MATERIALS Centura Epi Reactor还提供了一个双源石英电弧灯，用于在多种材料上沉积，允许高重复性，以提高产量和工艺控制。此外，该装置还提供了一个六通道质量流控制器，用于精确控制进入反应堆的气体，对机器中的活性材料进行高端控制。这使得它成为高效研究和高产生产工具的理想选择。该工具还提供了图形用户界面（GUI）和Process Sequencer体系结构,允许用户在确保可靠且可重复的结果的同时,对增长过程进行不稳定的控制。此外，GUI允许用户轻松调整广泛的资产设置，以完美匹配每个基板和增长过程的要求。Centura Epi反应堆能够高通量、坚固和可重复生产高端外延层，同时确保模型中的成分得到精确监控。该单元提供了一个全面的特点，精确控制外延生长过程，确保优越的效果。这使得AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi Reactor成为高端外延研究和生产的理想选择。