二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9282867 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi是一种使用化学气相沉积（CVD）工艺在基板表面上生长薄膜和材料层的反应器。反应堆主要用于半导体和电子工业，用于介电和金属薄膜的沉积。该反应堆是为高通量应用而设计的，具有高精度和重复性。AMAT Centura Epi反应堆设计有可调节高度加热的静电卡盘基座，允许使用广泛的基板尺寸和配置。还提供了一个用于基板加热和冷却的综合设施，以确保可重复的过程，而可选的冷冻气体选项确保了室内的精确温度控制。另外一个特点是石英衬里的除虫菊酯沉积室，它最大程度地减少了对基材和薄膜的污染。反应堆还配备了几个原位监测装置，包括热导传感器和电容监测仪，以便在沉积过程中提供连续和准确的原位数据。可调反应性原子通量监测仪有助于优化薄膜未反应的种类，并且光学密度检测系统允许评估薄膜粘附和厚度。APPLIED MATERIALS Centura Epi反应堆通过其内置的Epicenter平台提供了高度的过程自动化。震中是一个强大的集成过程控制系统，允许对沉积过程进行远程监控，集中控制配方和过程参数。该平台还实现了高效的配方管理,高级诊断提高了流程的可重复性和可靠性。CenturaEpi是一种用途广泛且可靠的反应器，非常适合从半导体制造和电子装配到先进薄膜沉积等应用。其精密、自动化和模块化的结合，使反应堆成为半导体和电子工业大批量生产和研究的绝佳选择。