二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epsilon / 0010-42572 #9199307 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epsilon/0010-42572是一种单晶片反应器，旨在为诸如砷化的、磷化的（InP）等复合半导体材料提供紫外线处理。该设备采用专利双级加热系统，提供精确的温度控制和高重复性。它配备了三个紫外线源的独立歧管；金属卤化物、二极管和激光。每个来源都可以单独控制和优化，以便进行高产加工。该装置还采用风冷高频电源，可实现低反射功率和高功率稳定性。它包含由高温计控制、闭环炉和平台温度组成的温度控制结构。此外，该机器还包括一个低振动晶片平台和温度交换器，以确保整个晶片的温度均匀。Centura Epsilon具有高度的灵活性和用户友好性。它支持各种晶圆尺寸，可用于各种紫外线处理应用。它还具有允许用户将其集成到现有处理环境中的标准界面。此外,还提供了一个可选的加载端口,用于自动加载和卸载晶片。总体而言，AMAT Centura Epsilon/0010-42572是一种先进、高性能的单晶圆反应堆，设计用于对复合半导体材料进行紫外线处理。它提供灵活的控制参数以及精确的温度控制和调整,从而实现强大且可重复的性能。
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