二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Etch #293798847 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Etch是一种高度精确的半导体蚀刻工具，用于现代半导体加工。这种蚀刻器能够对半导体材料进行可重复、精确的蚀刻。它基于气体化学、电子束和先进蚀刻系统工程的专利组合。除了首先沉积PECVD氧化物以实现安装的氧化物掩模进行蚀刻的基本工艺外，该蚀刻器还提供晶圆的电偏置，以更好地控制蚀刻剖面和地形。该工具的设计目的是使各种晶圆厚度和尺寸能够在30至1100毫米之间应用蚀刻配方。AMAT Centura蚀刻工具的主要目的是将一层或多层蚀刻到基板中，以达到精确的特征几何形状，包括浅沟槽隔离（STI）和高长宽比接触蚀刻。创建接触孔和更紧密通风的功能可减少后端应用程序中的浪费空间,从而提高设备性能和区域效率。蚀刻器也非常适合通过需要精确蚀刻轮廓和深度的蚀刻进行后端。由于其高长宽比，蚀刻器对于创建最小线宽小至30 nm的深层结构如vias和地板平面像素特别有用。APPLIED MATERIALS Centura蚀刻工具还能够产生耐久性超过传统气体系统产生的等离子体一百倍的等离子体。这样可以提高可靠性并降低生产和维护成本。此外,该工具还具有高级工艺可扩展性,可用于多达11个并行晶片处理的工艺室,从而提高了吞吐量效率。Centura Etch还提供了高级自我调整功能,可自动调整工具的参数以确保最佳蚀刻性能。此功能可对批量内变化最小的各种材料进行高精度蚀刻。此外,高级监控系统简化了监控和操作,减少了维护的停机时间。总之，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Etch是一种高度精确、经济高效且可靠的半导体蚀刻工具，允许对蚀刻材料进行可重复的精密蚀刻。它为扩大生产节点以满足现代和新兴半导体应用的高需求提供了广泛的选择。