二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill #293830663 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill
ID: 293830663
晶圆大小: 8"
SACVD System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill是当今市场上最先进的等离子体蚀刻和沉积工艺生产反应堆。在先进的半导体器件制造中,这种卓越的反应器被设计为具有卓越的工艺性能。它具有紧凑、高效、可靠的蚀刻沉积设备,内置可靠性和可靠性。AMAT Centura Gigafill针对高精度、可重现和可靠的蚀刻沉积工艺结果进行了优化。它具有快速脉冲、通用的等离子体系统,以及业界领先的磁脉冲系统,提供近乎完美的等离子体均匀性。这与独特的电子束形状圆顶设计相结合,允许精确和均匀的蚀刻和沉积操作。专门设计的圆顶减少了等离子体腔壁的侵蚀,提高了设备的使用寿命和工艺稳定性。反应堆配置用于蚀刻和沉积操作,包括标准等离子体蚀刻、功率沉积、退火和化学气相沉积(CVD)。蚀刻过程包括能够同时蚀刻和清洁晶片而不会造成轮廓损坏。功率沉积过程使几个晶片在一个循环中同时沉积,使其成为先进设备制造的理想选择。此单元具有最先进的用户界面,可方便操作和工具监控。其符合人体工程学的设计提高了生产率并减少了操作员疲劳。用户界面配备了先进的自动响应机器,可以防止流程超出容忍度条件。用户界面还提供对腔室气体成分的实时监测,允许对工艺条件的变化做出快速准确的反应。使用逻辑菜单结构、颜色编码方向图形和用户友好的显示器优化用户体验。应用材料Centura Gigafill反应堆采用超高真空管道和阀门系统,以确保稳定的工艺条件和尽量减少污染。其坚固的设计提供高温操作和提高生产率。使用更大的腔室开口,可以蚀刻更大的晶片,减少处理多个晶片批次所需的时间。此外,反应堆与遥感系统兼容,实现了实时晶片跟踪和通过工具同时处理晶片的能力。Centura Gigafill反应堆为先进的设备制造应用提供了无与伦比的性能和可靠性。它具有精确的等离子体蚀刻沉积能力和智能用户界面,是实现最佳蚀刻沉积效果的理想选择。凭借其强大的设计和扩展的功能,它是设备生产的可靠和可靠的长期投资。
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