二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill #9222476 待售

ID: 9222476
System Not included: Process kit Heater Induction valve LFM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill是一种化学反应器,设计用于沉积和蚀刻工艺等半导体制造应用。反应堆利用一个大直径的反应室来容纳广泛的基板阵列,同时允许有效的热管理。其特点是获得专利的创新,如中心柱,确保底物在反应表面上的均匀放置,以提高膜的均匀性。此外,AMAT Centura Gigafill还提供了一种反应室排气设备,能够使空气快速流动,使温度分布均匀。这个先进的反应堆系统也有集成的诊断,提供过程性能的实时反馈,以方便快速的过程优化。它结合了专门的反应堆瓷砖材料,以确保高质量的工艺稳定性和可靠的薄膜沉积。该装置还具有过程监测、控制和同步功能,可精确调整反应堆条件以优化性能。此外,APPLIED MATERIALS Centura Gigafill的模块化设计允许方便的维修和维护,并且为了最大限度地提高正常运行时间,它提供了一个自动清洁机,旨在减少颗粒堆积。Centura Gigafill具有完全集成的控制平台,具有自动诊断和实时输出功能,可为用户提供最新的状态信息和报告。它还包括能够精确控制反应堆环境的先进程序和登记控制选项。因此,用户甚至可以运行最复杂的加工配方和条件。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill的灵活性还允许用户以最小的停机时间在不同的工艺配方之间切换。AMAT Centura Gigafill被设计为用于半导体制造的可靠、经济高效的反应堆工具。它具有先进的反应堆控制、监测和同步特性,能够生产出具有改进的均匀性和工艺稳定性的优质薄膜。对于希望优化工艺和加快生产速度的研究人员和工程师来说,这是一个理想的反应堆。
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