二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9142606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP（高密度等离子体）反应器是一种设计用于半导体晶圆加工的多用户工具。它被用于生产多种高性能集成电路，包括高级内存和逻辑设备。AMAT Centura HDP反应堆是一种电容耦合等离子体（CCP）反应堆，意味着它依靠电场在工件上创造和维持等离子体。它能够在0.001 Torr和0.2 Torr之间的压力下运行硅烷（SiH4）、氮（N2）和氙气（Ar）等工艺气体。这种广泛的压力级别允许创建需要严格的过程指导原则的高级设备的理想过程。反应堆的工作原理是在一个腔室内创建一个等离子体，然后当它越过等离子体时会暴露在晶圆中。反应堆提供了对等离子体体积和温度的高度控制，允许有选择的蚀刻和沉积与精确的参数。使用APPLIED MATERIALS Centura HDP反应堆创建的等离子体能够处理从前端到后端、从单层到多层设备的多个层次的材料。Centura HDP反应堆使用先进的模型控制设备运行。该系统允许通过模拟、实验和实时过程监控的组合来优化过程配方。该单元还允许用户微调反应堆的运行条件和腔室配置，允许复杂的工艺序列。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP反应堆设计用于清洁室内环境，由抗紫外线、耐腐蚀材料制成，使其在高温、高真空条件下能可靠地运行。此外，该机器旨在减少危险化学品的使用，降低污染风险，降低成本。AMAT Centura HDP反应堆是生产高级内存和逻辑设备的理想工具，因为它具有高度的控制和灵活性以及可靠的性能。它的多用户功能和复杂的过程控制工具使其成为半导体制造的理想工具,允许生产功能复杂的高性能设备。