二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9188710 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP反应堆是一种设计用于微电子生产的高密度等离子体（HDP）设备。该反应堆具有极端的处理温度和压力水平，能够在微电子工业中广泛应用。HDP系统利用磁化圆柱形等离子体腔室，其中惰性气体和加工气体的溷合物使用高功率射频（RF）源进行加热和电离。射频源提供的能量激发气体粒子，进而通过重组释放其能量，形成长寿命的非热等离子体。等离子体然后被用来蚀刻、沉积或以其他方式以极高的精度加工各种材料的基板。AMAT Centura HDP反应器设计用于微电路制造过程,对工艺参数提供了更好的控制,从而提高了基板性能。其高效的冷却单元和低除气使得湿清洗、干蚀刻和氧化过程有多种工艺选择。该机器还提供了多种安全功能,能够在具有多个操作员的环境中进行高效操作。先进的诊断工具可以精确监测工艺参数并促进持续优化。此外,该资产还利用独特的天线设计来提高精度,并采用先进的屏蔽技术来降低噪声水平。应用材料Centura HDP反应堆在微电子制造过程中产生精确、高性能的基板。这是由于其精确的功率控制、优越的过程控制和低噪声操作而得以实现的。这些特点伴随着自动清洗过程和闭环安全系统，确保了最高水平的基板性能得以维持。反应堆还具有用户友好界面和若干数据记录功能，可实现优化结果。这使得该模型可以用于从低通量研究要求到大容量微电子生产的应用。