二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9249365 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP（高密度等离子体）反应器是一种完整的蚀刻解决方桉，旨在在高通量下提供高产产量。这个先进的反应堆能够处理范围广泛的材料，如III-V、硅​​金属、III-B类金属及其氮化物，以及其他化合物材料。它配置了优化的源-排水-蚀刻过程,以减少整个蚀刻周期的时间。AMAT Centura HDP配备了开关频率较高的直流射频电源，以及用于改善蚀刻均匀性的MC-Plasma源。直流电源还有助于实现更高的蚀刻速率和工艺均匀性。此外,APPLIED MATERIALS Centura HDP能够通过精确的等离子体蚀刻循环实现更高的精度。MC-Plasma的两频两相调谐配置有助于减少蚀刻时间，同时确保高度均匀性。Centura HDP具有多频等离子体源，设计用于调节和稳定等离子体密度，以产生高精度蚀刻结果。它还提供了先进的闭环水平晶圆传输设备，有助于确保高工艺均匀性。其不锈钢石英室有助于保护腔室表面并保持正常运行时间。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP维护水平低,可靠性高。其内置的计量工具测量蚀刻线的微粗度，确保最精确的蚀刻可能。此外，该系统还包括一些处理配方，以完全控制蚀刻过程。该装置还带有一个基于GUI的控制界面,允许快速设置、简化操作和简化阀门控制,以便快速更改蚀刻参数。总体而言，AMAT Centura HDP是一种先进的蚀刻反应器，它的高密度等离子体源、多频等离子体源、闭环水平晶片传输机和不锈钢石英室提供了卓越的工艺能力。它是一种可靠的解决方桉,可提高产量并缩短整个蚀刻周期的时间。它还带有一个基于GUI的综合控制界面和处理配方,可以完全控制过程。