二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HT #9206303 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HT是一种全自动反应堆设备,旨在为各种II-V和III-V材料提供高通量处理能力。AMAT Centura HT由几个组件组成,包括一个加工室、一个底座单元、一个真空室、一个负载锁和一个控制器。加工室采用不锈钢制成,主要用于高温基材加工。设有气体输送系统、加热元件、温度控制单元。它设有一个查看过程结果的大窗口,以及一个易于控制流量和压力的气体管理机器。基座单元容纳所有电气部件,如控制器和电源,以及各种气体入口和出口。它还提供了与真空室和负载锁的连接。此单元由图形用户界面控制,允许用户为特定进程选择所需的参数。它还包括安全联锁。真空室位于反应堆顶部,用作隔离室。它由不锈钢制成,有一个特殊的设计,尽量减少大气污染物进入腔室。它还具有气体管理工具,并包括一个压力调节器,以帮助调节室内的压力。载荷锁是放置晶片的反应器的入口点。它由聚碳酸酯制成,提供了一个安全的门,以防止工艺室受到污染。负载锁配有惰性气体气氛,有助于减少污染。控制器是管理和控制整个资产的地方。它位于基础单元内,负责炉的运行。它具有图形用户界面,允许用户编程和控制过程的各种参数。APPLIED MATERIALS Centura HT是一种高效可靠的高通量II-V和III-V材料处理工具。它配备了多种功能,可帮助确保在短时间内获得质量效果。因此,这种反应堆模型非常适合在研究和工业环境中的应用。
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