二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I DPS+ #9093402 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I DPS+是一种高效、基于团队的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）反应器，旨在满足超高长宽比处理要求。DPS+采用400mm平台和多站设计,每个平台最多可集成五个工具,是多薄膜区域溷合集成的理想选择。DPS+的核心是世界级的AMAT Centura I HD PECVD处理技术。它旨在提供卓越的薄膜均匀性、可重复性和较高的沉积速率。灵活的设备设计允许将多达五种工具集成到一个平台中,并提供了采用最新合金加工技术的选项。这种多站功能非常适合MEMS（微机电系统）或FEOL（前端线）开发等需要不同晶片上不同沉积层的应用。该系统还包括一个独特的反应物单元，使反应物溷合物易于操作。这允许用户调整沉积参数，如速率、保形性和吞吐量。此外，该机还采用分体式晶片盒式磁带快速装入连续晶片，以简化晶片处理，提高生产效率。该工具还具有实时流程监控功能,具有全面的反馈系统,可提供有关流程条件的详细信息,允许用户根据需要调整参数。此外,它还配备了先进、用户友好的IT基础架构,可轻松将数据和文件集成到资产中。这将提高模型的生产率,并有助于确保产品质量一致。总体而言,AMAT Centura I DPS+是一种高效且用途广泛的PECVD设备,旨在满足各种高级沉积应用的需求。DPS+凭借其广泛的能力、瞄准多层薄膜堆栈的能力、高吞吐量，是MEMS、FEOL处理等应用的理想反应堆。